ARZUFFI發電機 BDS-MF系列
發布日期：2020-07-23?瀏覽次數：0
Arzuffi BDS-MF是一款等離子發生器，其正弦輸出電壓為40 kHz，*大功率輸出為5 kW或10 kW，專為PECVD等離子或等離子體激發而設計。
該發生器能夠提供高達10kW(5KW)至5000V的RMS輸出。輸出為兩個對稱電*的平衡型。
典型的應用是大型工藝室的PECVD工藝。
一個特點是內部輸出的高壓變壓器，帶有兩個插座，以適應等離子體阻抗。
該發生器設計用于現有機器上的即插即用安裝。
ARZUFFI發電機 BDS-MF系列參數：
| BDS-MF5K | BDS-MF10K | |
| 輸出功率 | 負載為2000歐姆負載時為5 kWatt | 負載為2000歐姆負載時為10 kWatt |
| 供電電壓 |
3 X 400 VAC +/- 10*50/60 HZ，10A (L1，L2，L3，PE) |
3 X 400 VAC +/- 10*50/60 HZ，18 A(L1，L2，L3，PE) |
| 尺寸 | 抽屜19英寸機架，4UI高度(177毫米)540毫米深度 | 抽屜19英寸機架，4UI高度(177毫米)540毫米深度 |
| 重量 | 20KG鋁制容器 | 20KG鋁制容器 |
| 冷卻 | 空氣冷卻，**散熱器，該裝置可在高達40°C的環境溫度下工作 | 空氣冷卻，**散熱器，該裝置可在高達40°C的環境溫度下工作 |
| 輸出電壓 | 在2000歐姆負載時，tap2上的電壓高達5000V | 在2000歐姆負載時，tap2上的電壓高達5000V |
| 輸出電流 | TAP1上*高3.5 A，TAP2上*高2.5A | TAP1上*高3.5 A，TAP2上*高2.5A |
| 輸出連接器 | 2個Fischer 105連接器上的平衡輸出，用于RG214 / U同軸電纜 | 2個Fischer 105連接器上的平衡輸出，用于RG214 / U同軸電纜 |
| 等離子點火電壓 | 大于5500 VRMS | 大于5500 VRMS |
| 電弧識別電路 | 過流一次回路，反應時間1微秒 | 過流一次回路，反應時間1微秒 |
| 接口 |
DB25連接器，模擬10V信號，24V數字 引腳排列，兼容ADVANCED ENERGY PEII© RS232或PROFIBUS 發生器(可選) |
DB25連接器，模擬10V信號，24V數字 引腳排列，兼容ADVANCED ENERGY PEII© RS232或PROFIBUS 發生器(可選) |
| 前面板 | LCD顯示2×40個字符 | LCD顯示2×40個字符 |
| 測量電路 | RMS電壓，RMS電流，負載上提供的有功功率 | RMS電壓，RMS電流，負載上提供的有功功率 |
| 調節電路 | 動力 | 動力 |
| 高壓輸出變壓器 | 兩個Tap1輸出插座，用于1000歐姆負載，Tap2用于2000歐姆負載 | 兩個Tap1輸出插座，用于1000歐姆負載，Tap2用于2000歐姆負載 |
| 合規 | EC可根據要求提供符合性聲明 | EC可根據要求提供符合性聲明 |
- 上一篇：Burkert寶德
- 下一篇：HYDAC壓力傳感器
